金融界2025年6月2日消息，國家知識信息顯示，羅伯特·博世有限公司申請一項名為“微電子機械傳感器和用于制造微電子機械傳感器的方法”的，公開號CN120057843A，申請日期為2024年11月傳感器。

摘要顯示，本發明涉及一種微電子機械傳感器(1)，其具有帶有傳感器結構(3)和蓋基底(4)的傳感器基底(2)，在蓋基底(4)和傳感器基底(2)之間至少在所述傳感器結構(3)的區域中構造有第一腔區域(5)，其中，所述蓋基底(4)具有至少一個通道(6)，所述至少一個通道(6)從所述蓋基底(4)的第一側(7)出發穿過所述蓋基底(4)延伸到第一腔區域(5)中，其中，所述蓋基底(4)在所述第一側(7)上鄰接到所述通道(6)地具有一區域(8)，其中，至少所述區域(8)設有疏水的表面涂層(9)傳感器。本發明還包括一種用于制造微電子機械傳感器的方法(100)。

來源：金融界